可動子とモジュール式固定子で構成され、各可動子を独立制御して6自由度で磁気浮上させる搬送システム。モジュール式タイルにより拡張・再構成でき、潤滑剤を必要としない。食品や医薬品など清浄度が求められる環境にも対応する。
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